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首頁-成功案例-8月30日安捷倫(lun) 電感耦合等離子體(ti) 質譜儀(yi)  ICP-MS-MS 8900在半導體(ti) 企業(ye) 用於(yu) 超痕量元素分析

8月30日安捷倫電感耦合等離子體質譜儀 ICP-MS-MS 8900在半導體企業用於超痕量元素分析

發布時間:2024-9-14

合作夥(huo) 伴:半導體(ti) 企業(ye)

儀(yi) 器類型:電感耦合等離子體(ti) 質譜儀(yi)

品牌:安捷倫(lun)

型號:ICP-MS-MS 8900

2024年8月30日,國內(nei) 有名半導體(ti) 企業(ye) 購買(mai) 我司的安捷倫(lun) 電感耦合等離子體(ti) 質譜儀(yi)  ICP-MS-MS 8900, 用於(yu) 水基體(ti) ,有機試劑,高矽,高氟樣品超痕量元素分析。工程師使用經驗證過的氫氣原位質量法氧氣質量轉移,氨氦,高氦等多種模式解決(jue) 客戶的應用問題。

在反應池中,氫氣 (H2 ) 和氧氣 (O2 )常被用作反應氣。

分析物或幹擾物在反應池中與(yu) 某一反應氣發生反應,生成一個(ge) 新質量數的產(chan) 物離子,通過這種質量轉移或者原位質量的方法,避開原質量數的幹擾。針對ICP-MS開發的碰撞/反應池,能夠通過化學反應去除特定幹擾,解決(jue) 分析中的難題。

氧氣質量轉移‌是一個(ge) 涉及氧氣從(cong) 氣相傳(chuan) 遞到液相的過程,這個(ge) 過程既是一個(ge) 傳(chuan) 遞過程,也是一個(ge) 物質擴散過程。氧氣質量轉移的效率受到多種因素的影響,包括汙水水質、水溫、氧的分壓以及曝氣裝置的安裝深度等。

Agilent 8900 ICP-MS/MS 比單四極杆 ICP-MS 提供了更高的靈敏度、更低的背景和更出色的幹擾物質控製。這使得監測更多數量的低濃度汙染物元素成為(wei) 可能,包括 Si、P、S 和 Cl 等難以分析的元素,並支持半導體(ti) 行業(ye) 推動更小尺寸器件架構、更高產(chan) 量和更高器件性能的發展。


應用場景分析

1.水基體(ti) 樣品分析: 在半導體(ti) 製造過程中,水基體(ti) 樣品如超純水(UPW)的質量對產(chan) 品質量有著至關(guan) 重要的影響。ICP-MS-MS 8900 能夠準確測量UPW中的超痕量鉀、鈣、鐵、鎳等元素,確保水質符合生產(chan) 要求。

2.有機試劑樣品分析: 半導體(ti) 製造過程中常常需要使用各種有機試劑。這些試劑中可能含有微量的金屬元素或其他雜質,對產(chan) 品質量產(chan) 生不利影響。ICP-MS-MS 8900能夠檢測這些有機試劑中的超痕量元素,確保試劑的純度。

 

3.高矽樣品分析: 半導體(ti) 材料如矽片在製造過程中需要嚴(yan) 格控製其表麵的金屬元素含量。ICP-MS-MS 8900的高靈敏度和低檢測限使得其能夠準確測量矽片表麵的超痕量元素,如磷、鈦等。同時,其強大的幹擾控製能力能夠消除矽基質對分析結果的幹擾。


4.高氟樣品分析: 在某些特定的半導體(ti) 製造過程中,可能需要使用含氟的化學品。ICP-MS-MS 8900能夠檢測這些高氟樣品中的超痕量元素,確保產(chan) 品的質量和性能不受影響。


綜合應用分析,我們(men) 給安捷倫(lun) 電感耦合等離子體(ti) 質譜儀(yi) ICP-MS-MS8900 配備了氫氟酸進樣能力(通過耐腐蝕部件實現)、有機進樣係統和水基體(ti) 進樣係統,以滿足半導體(ti) 行業(ye) 及其他領域對複雜樣品中超痕量元素分析的需求。

可見kaiyun电子平台不僅(jin) 僅(jin) 隻銷售儀(yi) 器,整個(ge) 檢測技術,方案應用,方法開發等全麵服務一 一提供。

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